دستگاه پولیش مکانیکی شیمیایی نوع پایه

قطر صفحه پولیش

381 میلی متر

460 میلی متر

610 میلی متر

812 میلی متر

914 میلی متر

1282 میلی متر

1500 میلی متر

قطر صفحه فشار

139 میلی متر

150 میلی متر

240 میلی متر

304.8 میلی متر

360 میلی متر٪ 2f355 میلی متر

485 میلی متر

576 میلی متر

شماره صفحه فشار

3

4

4

4

4

4

4

RPM صفحه پولیش

10 ~ 160 دور در دقیقه

10 ~ 160 دور در دقیقه

10 تا 115 دور در دقیقه

10 تا 87 دور در دقیقه

10-80دور در دقیقه

10 تا 64 دور در دقیقه

10-54دور در دقیقه

فشار پولیش (حداکثر)

100 کیلوگرم

100 کیلوگرم

140 کیلوگرم

250 کیلوگرم

320 کیلوگرم

560 کیلوگرم

760 کیلوگرم

قدرت موتور

0.75 کیلووات

1.5 کیلو وات

3 کیلووات

5.5 کیلو وات

11 کیلووات

22 کیلو وات

35 کیلووات

منبع تغذیه

3PH،380V،50Hz

بعد

950L

770W

1560H

1100L

850W

1650H

1350L

900W

1700H

1600L

920W

1900H

1800L

1262W

2120H

2180L

1670W

2200H

2800L

2020W

2500H

وزن (تقریبا...)

350 کیلوگرم

650 کیلوگرم

980 کیلوگرم

1800 کیلوگرم

2200 کیلوگرم

7000 کیلوگرم

8600 کیلوگرم

ظرفیت بارگیری ویفر

2"-4pcs/head

2"-3pcs/head(V)

2"-5pcs/head

2"-4pcs/head(V)

2"-10pcs/head

4 اینچ -3pcs/head

2"-14pcs/head

4 اینچ -5pcs/head

5 اینچ-3pcs/head

4 اینچ -7pcs/head

5 اینچ-5pcs/head

6 اینچ-3pcs/head

5 اینچ-8pcs/head

6 اینچ-6pcs/head

8 اینچ -3pcs/head

6 اینچ-8pcs/head

8 اینچ -5pcs/head