دستگاه پولیش مکانیکی شیمیایی نوع IDP
هر صفحه فشار دستگاه پولیش مکانیکی شیمیایی سری CP با حرکت مستقل صفحه فشار توسط یک کاهنده سروو جداگانه هدایت می شود. بر خلاف روشی که دستگاه CP غلتکی راهنمای مرکزی توسط اصطکاک رانده می شود، دستگاه CP رانندگی مستقل از صفحه فشار می تواند کنترل دقیق سرعت صفحه فشار را درک کند. در عین حال، به دلیل ساختار جلوگیری از تماس اصطکاک در ناحیه پرداخت، تولید ذرات کریستالی دوغاب پرداخت کاهش می یابد، بنابراین، احتمال آلودگی ذرات و خراش روی سطح ویفر کاهش می یابد. سرعت چرخش هر صفحه فشار دستگاه IDP را می توان به طور جداگانه تنظیم کرد. با توجه به ویژگیهای سیلندر فشار هر صفحه فشار، میتوان با تنظیم دقیق سرعت چرخش صفحات فشار، به تفاوت تقریباً صفر بین صفحات فشار مختلف دست یافت.
برای ماشینهای IDP با اندازه بزرگ، موقعیتیابی و تعویض ایستگاه صفحات سرامیکی با افزودن دستگاههای غلتک راهنمای داخلی و خارجی امکانپذیر است تا بارگیری و تخلیه در یک ایستگاه انجام شود. همچنین می تواند با ادغام دستکاری کننده برای تشکیل یک خط تولید خودکار، اتصال چندین ماشین را درک کند.
دستگاه پولیش مکانیکی شیمیایی سری IDP TYPE CP
نوع و مشخصات | CP٪7b٪7b0٪7d٪7dB-IDP | CP-460B-IDP | CP٪7b٪7b0٪7d٪7dB-IDP | CP٪7b٪7b0٪7d٪7dB-IDP |
قطر صفحه پولیش | 381 میلی متر | 460 میلی متر | 610 میلی متر | 812 میلی متر |
قطر صفحه فشار | 139 میلی متر | 150 میلی متر | 240 میلی متر | 304.8 میلی متر |
شماره صفحه فشار | 3 | 3 | 4 | 4 |
RPM صفحه پولیش | 10 تا 160 دور در دقیقه | 10 تا 160 دور در دقیقه | 10 تا 115 دور در دقیقه | 10 تا 87 دور در دقیقه |
فشار پولیش (حداکثر) | 100 کیلوگرم | 100 کیلوگرم | 140 کیلوگرم | 250 کیلوگرم |
قدرت موتور مبتنی بر صفحه فشار | 200W | 200W | 400 کیلووات | 400 کیلووات |
سرعت چرخش صفحه فشار | 0~200 دور در دقیقه | 0~200 دور در دقیقه | 0~100 دور در دقیقه | 0~100 دور در دقیقه |
قدرت موتور اصلی | 0.75 کیلووات | 1.5 کیلووات | 3 کیلووات | 5.5 کیلو وات |
منبع تغذیه | 3PH،380V،50Hz | |||
بعد | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H |
وزن (تقریبا...) | 350 کیلوگرم | 350 کیلوگرم | 980 کیلوگرم | 1800 کیلوگرم |
ظرفیت بارگیری ویفر | 2"-4pcs/head | 2"-4pcs/head | 2"-10pcs/head 4 اینچ -3pcs/head | 2"-14pcs/head 4 اینچ -5pcs/head 5 اینچ-3pcs/head |
نوع و مشخصات | CP٪7b٪7b0٪7d٪7dB-IDP | CP٪7b٪7b0٪7d٪7dB-IDP | CP٪7b٪7b0٪7d٪7dB-IDP |
قطر صفحه پولیش | 914 میلی متر | 1282 میلی متر | 1500 میلی متر |
قطر صفحه فشار | 360 میلی متر | 485 میلی متر | 576 میلی متر |
شماره صفحه فشار | 4 | 4 | 4 |
RPM صفحه پولیش | 10-80دور در دقیقه | 10 تا 64 دور در دقیقه | 10-54دور در دقیقه |
فشار پولیش (حداکثر) | 320 کیلوگرم | 560 کیلوگرم | 760 کیلوگرم |
قدرت موتور مبتنی بر صفحه فشار | 2 کیلو وات | 1 کیلو وات | 1.3 کیلو وات |
سرعت چرخش صفحه فشار | 2 کیلو وات | 0~100 دور در دقیقه | 0~100 دور در دقیقه |
قدرت موتور اصلی | 11 کیلووات | 22 کیلووات | 35 کیلووات |
منبع تغذیه | 3PH،380V،50Hz | ||
بعد | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
وزن (تقریبا...) | 2200 کیلوگرم | 7000 کیلوگرم | 8600 کیلوگرم |
ظرفیت بارگیری ویفر | 4 اینچ -7pcs/head 5 اینچ-5pcs/head 6 اینچ-3pcs/head | 5 اینچ-8pcs/head 6 اینچ-6pcs/head 8 اینچ -3pcs/head | 6 اینچ-8pcs/head 8 اینچ 5 عدد / سر |
تگ های محبوب: ماشین آلات پولیش مکانیکی شیمیایی نوع idp، تولید کنندگان ماشین آلات پولیش مکانیکی شیمیایی نوع idp چین، تامین کنندگان، کارخانه
بعدی
نهشما نیز ممکن است دوست داشته باشید
ارسال درخواست