دستگاه پولیش مکانیکی شیمیایی نوع CD
ماشینهای CP از نوع مرکزی ورق تحت فشار از ماشینهای پایه CP با افزودن مجموعهای از غلتک مرکزی صفحه فشار که چهار صفحه را به چرخش در طول فرآیند هدایت میکند، توسعه یافتهاند. این ساختار می تواند اختلاف سرعت صفحات فشار ناشی از ویژگی های مختلف سیلندرهای هوا و اصطکاک پولیش متفاوت روی هر سر را از بین ببرد تا از سازگاری نتایج پولیش هر هد بهتر اطمینان حاصل شود. در عین حال، سرعت چرخ راهنما قابل تنظیم است، بنابراین سرعت صفحات فشار را می توان با توجه به نیازهای فرآیند تنظیم کرد و فرآیند پرداخت انعطاف پذیرتر است.
صفحه سرامیکی یا صفحه فشار از طریق غلتک محرک مرکزی و غلتک راهنمای بیرونی قرار می گیرد. از طریق چرخش صفحه پولیش و عمل تطبیق غلتک راهنمای بیرونی، سوئیچینگ صفحات سرامیکی در بین ایستگاه های مختلف قابل تحقق است. با کمک سیستم کنترل و دستکاری، می توان خط تولید خودکار را برای بهبود کارایی و کاهش هزینه ساخت.

روش باندینگ (باندینگ) ویفر
سه نوع روش نگهداری ویفر که عبارتند از: چسباندن مومی، نگهداشتن با قالبهای پولیش، با استفاده از چاک خلاء، میتواند بر روی دستگاههای CP مرکزی با صفحه فشار نیز اعمال شود.
برای به دست آوردن فرآیند پولیش پایدار، دستگاه پولیش سری CP توصیه می شود با سیستم مدیریت دوغاب پولیش برای کنترل جریان، دما، مقدار pH و سایر شاخص های سیال پولیش استفاده شود.
دستگاه پولیش مکانیکی شیمیایی سری CD TYPE CP
نوع و مشخصات | CP{0}}B-CD | CP{0}}B-CD | CP{0}}B-CD | CP{0}}B-CD |
قطر صفحه پولیش | 381 میلی متر | 460 میلی متر | 610 میلی متر | 812 میلی متر |
قطر صفحه فشار | 139 میلی متر | 150 میلی متر | 240 میلی متر | 304.8 میلی متر |
شماره صفحه فشار | 3 | 4 | 4 | 4 |
RPM صفحه پولیش | 10 تا 160 دور در دقیقه | 10 تا 160 دور در دقیقه | 10 تا 115 دور در دقیقه | 10 تا 87 دور در دقیقه |
فشار پولیش (حداکثر) | 100 کیلوگرم | 100 کیلوگرم | 140 کیلوگرم | 250 کیلوگرم |
قدرت موتور مرکزی | 400W | 750 کیلووات | 1 کیلو وات | 1.5 کیلو وات |
قدرت موتور اصلی | 0.75 کیلووات | 1.5 کیلو وات | 3 کیلووات | 5.5 کیلو وات |
منبع تغذیه | 3PH،380V،50Hz | |||
بعد | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H |
وزن (تقریبا...) | 350 کیلوگرم | 690 کیلوگرم | 980 کیلوگرم | 1800 کیلوگرم |
ظرفیت بارگیری ویفر | 2"-4pcs/head | 2"-5pcs/head | 2"-10pcs/head 4 اینچ -3pcs/head | 2"-14pcs/head 4 اینچ -5pcs/head 5 اینچ-3pcs/head |
نوع و مشخصات | CP{0}}B-CD | CP{0}}B-CD | CP{0}}B-CD |
قطر صفحه پولیش | 914 میلی متر | 1282 میلی متر | 1500 میلی متر |
قطر صفحه فشار | 360 میلی متر / 355 میلی متر | 485 میلی متر | 576 میلی متر |
شماره صفحه فشار | 4 | 4 | 4 |
RPM صفحه پولیش | 10-80دور در دقیقه | 10 تا 64 دور در دقیقه | 10-54دور در دقیقه |
فشار پولیش (حداکثر) | 320 کیلوگرم | 560 کیلوگرم | 760 کیلوگرم |
قدرت موتور مرکزی | 2 کیلو وات | 3.5 کیلو وات | 5.5 کیلو وات |
قدرت موتور اصلی | 11 کیلووات | 22 کیلووات | 35 کیلووات |
منبع تغذیه | 3PH،380V،50Hz | ||
بعد | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
وزن (تقریبا...) | 2200 کیلوگرم | 7000 کیلوگرم | 8600 کیلوگرم |
ظرفیت بارگیری ویفر | 4 اینچ -7pcs/head 5 اینچ-5pcs/head 6 اینچ-3pcs/head | 5 اینچ-8pcs/head 6 اینچ-6pcs/head 8 اینچ -3pcs/head | 6 اینچ-8pcs/head 8 اینچ 5 عدد / سر |
تگ های محبوب: دستگاه پولیش مکانیکی شیمیایی نوع سی دی، تولید کنندگان دستگاه های پولیش مکانیکی شیمیایی نوع سی دی چین، تامین کنندگان، کارخانه
شما نیز ممکن است دوست داشته باشید
ارسال درخواست












