دستگاه پولیش مکانیکی سری MP
دستگاه پولیش مکانیکی سری LSTD MP برای پاسخگویی به الزامات پرداخت سریع مواد فوق سخت ساخته شده است. این تجهیزات از صفحه فلزی نرم یا صفحه کامپوزیت و دوغاب الماس با اندازه ذرات خاص استفاده می کند که می تواند باعث شود قطعه کار پردازش شده به سرعت به سطح آینه برسد. یکی دیگر از مزایای قابل توجه پولیش مکانیکی این است که تحت کنترل خوب شکل صفحه، می تواند سطح قطعه کار بسیار صاف و تقریباً بدون ریزش لبه را به دست آورد. برای قطعه کار (ویفر) با کاربرد اپیتاکسیال، پس از پرداخت مکانیکی، می توان زمان فرآیند پرداخت مکانیکی شیمیایی را بسیار کوتاه کرد و هزینه را کاهش داد. دستگاه پولیش مکانیکی شیمیایی سری MP می تواند برای پرداخت مکانیکی انواع ویفرهای نیمه هادی فوق سخت مانند یاقوت کبود، کاربید سیلیکون و الماس و همچنین پولیش سایر مواد فوق سخت مانند سرامیک، کاربید سیمانی و فولاد کوئنچ شده استفاده شود.
مانند ماشین های پولیش مکانیکی شیمیایی سری CP:
ماشینهای پولیش مکانیکی سری MP نیز به سه مدل تقسیم میشوند: نوع پایه، نوع دیسک فشار مرکزی (نوع CD) و نوع رانش مستقل از صفحه فشار (نوع IDP) (به صفحه 4 مراجعه کنید؛ ماشینهای پولیش مکانیکی سری MP ساختاری مشابه CP دارند. سری دستگاه های پولیش مکانیکی شیمیایی، اما به منظور رفع نیازهای پرداخت مکانیکی، دستگاه های پولیش مکانیکی سری MP مجهز به سیستم تراش صفحه پولیش برای شیار زدن صفحات می باشند.
دستگاه پولیش مکانیکی نوع IDP:
دستگاه پولیش مکانیکی نوع IDP همچنین می تواند با ادغام عملکرد نوسان صفحه فشار، دقت پولیش مکانیکی را بهبود بخشد. به منظور حل مشکلات تغییر شکل انبساط و کاهش سختی صفحه پرداخت ناشی از گرمایش تولید شده توسط پرداخت مکانیکی، LSTD یک فناوری جدید توسعه داده و برای ثبت اختراع استفاده کرده است که می تواند به طور موثر دمای سطح صفحه، شکل صفحه و سختی صفحه را کنترل کند. برای پرداخت مکانیکی مواد نیمه هادی نسل سوم مانند کاربید سیلیکون، الماس و سایر ویفرها، این فناوری می تواند به طور موثر مشکلات راندمان و دقت پرداخت مکانیکی را حل کند.
دستگاه پولیش مکانیکی سری BASIC TYPE MP
نوع و مشخصات | MP-380B(V*) | MP-460B(V) | MP-610B(V) | MP-810B(V) | MP-910B(V) | MP-1280B(V) | MP-1500B(V) |
قطر صفحه پولیش | 381 میلی متر | 460 میلی متر | 598 میلی متر | 796 میلی متر | 898 میلی متر | 1262 میلی متر | 1480 میلی متر |
قطر صفحه فشار | 139 میلی متر | 150 میلی متر | 240 میلی متر | 304.8 میلی متر | 360mm/355mm | 485 میلی متر | 576 میلی متر |
شماره صفحه فشار | 3 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 |
RPM صفحه پولیش | 10 ~ 160 دور در دقیقه | 10 ~ 160 دور در دقیقه | 10 تا 115 دور در دقیقه | 10 تا 87 دور در دقیقه | 10-80دور در دقیقه | 10 تا 64 دور در دقیقه | 10-54دور در دقیقه |
فشار پولیش (حداکثر) | 100 کیلوگرم | 100 کیلوگرم | 140 کیلوگرم | 250 کیلوگرم | 320 کیلوگرم | 560 کیلوگرم | 760 کیلوگرم |
قدرت موتور | 0.75 کیلووات | 1.5 کیلووات | 3 کیلووات | 5.5 کیلو وات | 11 کیلووات | 22 کیلووات | 35 کیلووات |
منبع تغذیه | 3PH،380V،50Hz | ||||||
بعد، ابعاد، اندازه | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
وزن (تقریبا...) | 420 کیلوگرم | 720 کیلوگرم | 1080 کیلوگرم | 2200 کیلوگرم | 2400 کیلوگرم | 7300 کیلوگرم | 9500 کیلوگرم |
ظرفیت بارگیری ویفر | 2"-4pcs/head 2"-3pcs/head(V) | 2"-5pcs/head 2"-4pcs/head(V) | 2"-10pcs/head 4 اینچ-3pcs/head | 2"-14pcs/head 4 اینچ-5pcs/head 5 اینچ-3pcs/head | 4 اینچ-7pcs/head 5 اینچ-5pcs/head 6 اینچ-3pcs/head | 5 اینچ-8pcs/head 6 اینچ-6pcs/head 8 اینچ -3pcs/head | 6 اینچ-8pcs/head 8 اینچ -5pcs/head |
دستگاه پولیش مکانیکی سری CD TYPE MP
نوع و مشخصات | MP-380B-CD | MP-460B-CD | MP-610B-CD | MP-810B-CD |
قطر صفحه پولیش | 381 میلی متر | 460 میلی متر | 598 میلی متر | 796 میلی متر |
قطر صفحه فشار | 139 میلی متر | 150 میلی متر | 240 میلی متر | 304.8 میلی متر |
شماره صفحه فشار | 3 | 4 | 4 | 4 |
RPM صفحه پولیش | 10 ~ 160 دور در دقیقه | 10 ~ 160 دور در دقیقه | 10 تا 115 دور در دقیقه | 10 تا 87 دور در دقیقه |
فشار پولیش (حداکثر) | 100 کیلوگرم | 100 کیلوگرم | 140 کیلوگرم | 250 کیلوگرم |
قدرت موتور مرکزی | 400W | 750 کیلووات | 1 کیلو وات | 1.5 کیلو وات |
قدرت موتور اصلی | 0.75 کیلووات | 1.5 کیلو وات | 3 کیلووات | 5.5 کیلو وات |
منبع تغذیه | 3PH،380V،50Hz | |||
بعد، ابعاد، اندازه | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H |
وزن (تقریبا...) | 420 کیلوگرم | 720 کیلوگرم | 1080 کیلوگرم | 2200 کیلوگرم |
ظرفیت بارگیری ویفر | 2"-4pcs/head | 2"-5pcs/head | 2"-10pcs/head 4 اینچ-3pcs/head | 2"-14pcs/head 4 اینچ-5pcs/head 5 اینچ-3pcs/head |
نوع و مشخصات | MP-910B-CD | MP-1280B-CD | MP-1500B-CD |
قطر صفحه پولیش | 898 میلی متر | 1262 میلی متر | 1480 میلی متر |
قطر صفحه فشار | 360 میلی متر / 355 میلی متر | 485 میلی متر | 576 میلی متر |
شماره صفحه فشار | 4 | 4 | 4 |
RPM صفحه پولیش | 10-80دور در دقیقه | 10 تا 64 دور در دقیقه | 10-54دور در دقیقه |
فشار پولیش (حداکثر) | 320 کیلوگرم | 560 کیلوگرم | 760 کیلوگرم |
قدرت موتور مرکزی | 2 کیلو وات | 3.5 کیلو وات | 5.5 کیلو وات |
قدرت موتور اصلی | 11 کیلووات | 22 کیلووات | 35 کیلووات |
منبع تغذیه | 3PH،380V،50Hz | ||
بعد، ابعاد، اندازه | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
وزن (تقریبا...) | 2400 کیلوگرم | 7300 کیلوگرم | 9500 کیلوگرم |
ظرفیت بارگیری ویفر | 4 اینچ-7pcs/head 5 اینچ-5pcs/head 6 اینچ-3pcs/head | 5 اینچ-8pcs/head 6 اینچ-6pcs/head 8 اینچ -3pcs/head | 6 اینچ-8pcs/head 8 اینچ 5 عدد / سر |
دستگاه پولیش مکانیکی سری IDP TYPE MP
نوع و مشخصات | MP-380B-IDP | MP-460B-IDP | MP-610B-IDP | MP-810B-IDP |
قطر صفحه پولیش | 381 میلی متر | 460 میلی متر | 598 میلی متر | 796 میلی متر |
قطر صفحه فشار | 139 میلی متر | 150 میلی متر | 240 میلی متر | 304.8 میلی متر |
شماره صفحه فشار | 3 | 3 | 4 | 4 |
RPM صفحه پولیش | 10 ~ 160 دور در دقیقه | 10 ~ 160 دور در دقیقه | 10 تا 115 دور در دقیقه | 10 تا 87 دور در دقیقه |
فشار پولیش (حداکثر) | 100 کیلوگرم | 100 کیلوگرم | 140 کیلوگرم | 250 کیلوگرم |
قدرت موتور مبتنی بر صفحه فشار | 200W | 200W | 400 کیلووات | 400 کیلووات |
سرعت چرخش صفحه فشار | 0~200 دور در دقیقه | 0~200 دور در دقیقه | 0~100 دور در دقیقه | 0~100 دور در دقیقه |
قدرت موتور اصلی | 0.75 کیلووات | 1.5 کیلووات | 3 کیلووات | 5.5 کیلو وات |
منبع تغذیه | 3PH،380V،50Hz | |||
بعد، ابعاد، اندازه | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H |
وزن (تقریبا...) | 350 کیلوگرم | 350 کیلوگرم | 980 کیلوگرم | 1800 کیلوگرم |
ظرفیت بارگیری ویفر | 2"-4pcs/head | 2"-4pcs/head | 2"-10pcs/head 4 اینچ-3pcs/head | 2"-14pcs/head 4 اینچ-5pcs/head 5 اینچ-3pcs/head |
نوع و مشخصات | MP-910B-IDP | MP-1280B-IDP | MP-1500B-IDP |
قطر صفحه پولیش | 898 میلی متر | 1262 میلی متر | 1480 میلی متر |
قطر صفحه فشار | 360 میلی متر / 355 میلی متر | 485 میلی متر | 576 میلی متر |
شماره صفحه فشار | 4 | 4 | 4 |
RPM صفحه پولیش | 10-80دور در دقیقه | 10 تا 64 دور در دقیقه | 10-54دور در دقیقه |
فشار پولیش (حداکثر) | 320 کیلوگرم | 560 کیلوگرم | 760 کیلوگرم |
قدرت موتور مبتنی بر صفحه فشار | 2 کیلو وات | 1 کیلو وات | 1.3 کیلو وات |
سرعت چرخش صفحه فشار | 2 کیلو وات | 0~100 دور در دقیقه | 0~100 دور در دقیقه |
قدرت موتور اصلی | 11 کیلووات | 22 کیلووات | 35 کیلووات |
منبع تغذیه | 3PH،380V،50Hz | ||
بعد، ابعاد، اندازه | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
وزن (تقریبا...) | 2200 کیلوگرم | 7000 کیلوگرم | 8600 کیلوگرم |
ظرفیت بارگیری ویفر | 4 اینچ-7pcs/head 5 اینچ-5pcs/head 6 اینچ-3pcs/head | 5 اینچ-8pcs/head 6 اینچ-6pcs/head 8 اینچ -3pcs/head | 6 اینچ-8pcs/head 8 اینچ 5 عدد / سر |
تگ های محبوب: ماشین صیقل مکانیکی سری mp، تولید کنندگان ماشین های پرداخت مکانیکی سری mp چین، تامین کنندگان، کارخانه
یک جفت
نهبعدی
نهشما نیز ممکن است دوست داشته باشید
ارسال درخواست