CMP پد تهویه مطبوع

نرم‌کننده‌های پد برای حالت دادن به لنت‌های پولیش استوک و لنت‌های پولیش خوب استفاده می‌شوند، با انجام تهویه روی این پدها می‌توان صافی لنت را به خوبی کنترل کرد و زبری سطح پد را بهینه کرد، بنابراین دقت هندسی ویفرهای جلا را تضمین می‌کند. و راندمان پولیش نسبت به پدهای غیر مطبوع پایدارتر خواهد بود، اغلب، با پانسمان مناسب با نرم کننده های پد، طول عمر پد پولیش را تا 30 تا 50 درصد افزایش می دهد.

نرم کننده های پد هم در فرآیند پولیش یک طرفه و هم در فرآیند پولیش دو طرفه مفید هستند. برای هر منظور، طرح‌های احتمالی زیادی دارد که ممکن است نتایج متفاوتی داشته باشد، هر طرحی که ما استفاده می‌کنیم، کنترل صافی، کنترل موازی و کنترل استحکام پیوند الماس همیشه به طور دقیق و بدون مصالحه اجرا می‌شوند.

نرم کننده پد تک طرفه

مجموعه نرم کننده پد دو طرفه

صفحه پانسمان پارچه ای پولیش سرامیکی برای پانسمان پد پولیش نیز استفاده می شود. در مرحله اولیه استفاده از پد پولیش، می توان از این پد کمد برای پانسمان پد پولیش برای دستیابی به پشتی چسبی خوب و کنترل صافی پد پولیش استفاده کرد.

مونتاژ حالت دهنده پد تک طرفه

حامل تهویه پد دو طرفه

لنت بشقاب سرامیکی

تگ های محبوب: تهویه مطبوع پد cmp، تولید کنندگان، تامین کنندگان، چین پد تهویه مطبوع